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開發半導體產業鏈之國產靜電力吸盤計畫 - 新竹SBIR

中關鍵零組件；其功用為提供均勻吸附能 ... 電漿系統，其中製程良率的關鍵之一，是. 靜電力吸附式晶圓乘載盤 ... 間產生吸附，配合冷卻裝置讓電漿製程能有. 效被控制。

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