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電漿的功用
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蝕刻技術
為例,就是利用電漿放電方式進. 行異向性蝕刻的方法。 ▫ 在電漿的環境中,含有大量的活 ... 介電薄膜活性離子蝕刻系統. (Dielectric RIE). ▫ 服務項目:.
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