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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 電漿輔助原子層 ...

電漿 輔助原子層化學氣相沉積在銅連線結構之多孔性超低. 介電層之製程整合應用 ... PE-ALCVD Ta、TaNX 超薄擴散阻障層的功用，有學術上的貢獻。使得參與之工作人員獲得 ...

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