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光學元件清碳技術的發展 - 國家同步輻射研究中心

入氧氣及氬氣以射頻放電的方式產生電漿清除碳汙染. [4]，但放電的方式卻有機會因電極發生濺射作用，反而 ... UV 布簾黏覆當作紫外光護罩(UV shield)，功用為避免.

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