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電漿的功用
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https://www.linde-gas.com/en/images/LLH%20Brochure%20Traditional%20Chinese_tcm17-489084.pdf
電子氣體的領導者- 供應半導體、太陽能 - Linde Gas
用於電漿蝕刻矽相關材料. 六氟化硫(SF6). 浸潤式微影製程;清洗製程中去除靜電;參雜;深極紫外光刻中做為雷射光源. 高純二氧化碳(CO2). 電漿蝕刻. 一氧化碳(CO).
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