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射頻匹配在10奈米以下半導體製程節點扮演要角 - 電子工程專輯

Reno Sub-Systems的EVC匹配網路配對到每一個功率位準的變化都是可重複且可靠的。不需要穩定步驟，電漿保持穩定並且不會熄滅。為將這些新製程引入主流製造 ...

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