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電漿源原理與應用之介紹 - Scribd

分隔和偶合的功用，最重要的是，由其所造成之電漿波傳輸的影響，而分佈式的微波偶合方式方能達成。 不連續界面還能激發出電漿表面波，使電漿密度能高 於1011cm-3。

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