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Chapter 7 電漿的基礎原理

說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ... 電漿是具有等量正電荷和負電荷的離子氣體 ... 高密度電漿(High density plasma ,HDP)的游. 離率約1∼5%.

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