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TWI503859B - 使用於離子佈植系統中的電漿流體槍以及提供 ...

以PFG用途來看，由於氙在惰性氣體中具有相對低的離子化電位且其具有較重質量，因此氙可為較佳氣體。於步驟706中，可經由浸潤式線圈120將RF功率耦合至電漿腔室118中。 於 ...

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