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工學院半導體材料與製程設備學程

高週波電漿常見的用途為半導體製. 程之蝕刻製程及薄膜的沈積，在外加的電場下，促使反應氣體迅速地形成. 電漿態，利用其組成來達到蝕刻或沈積的目的。 由於高週波電漿可以 ...

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