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5、乾貨!掌握這兩個電壓(Vdc&Vpp),就理解了DRY ETCH微觀原理

前面已經向大家介紹DRY ETCH的宏觀原理，這一節通過介紹兩個電壓 ... 答：氧化矽/氮化矽何謂溼式蝕刻答：利用液相的酸液或溶劑;將不要的薄膜去除何謂電漿Plasma?

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