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高精度光學透鏡電漿拋光技術

本實驗同時採用光學放射光譜儀分析電漿物種隨氣體比例以及. 功率等參數的變化，了解電漿反應與表面狀態、蝕刻速率的 ... 作原理分別為化學機械式材料移除、磁性粒子機.

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