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自我補償式蘭牟爾探針之製作與量測 - 龍華科技大學

而電漿狀態中的成份也會因機台. 設計和需求有所差異，電漿製程深受電子溫. 度、電漿密度、自由基濃度及離子轟擊力所. 影響，而這些電漿性質除了由製程參數（氣. 體、功率、 ...

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