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電漿源原理與應用之介紹| PDF - Scribd

括電感式電漿源，微波表面波電漿源,大氣電漿源，電漿浸沒離子佈植及電漿火炬等等。 ... 機制與與變壓器原理相同，其中線圈為變壓器之一次中性粒子密度低，電子碰撞頻率 ...

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