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射頻濺鍍機之製程與設備初步技術實習

本專題製作旨在明瞭半導體製程設備中，射頻濺鍍機的原理、操作方式及. 重要零件的技術內容。 ... 但在進行反應時，為了利用電漿(Plasma)內分子與電子間的碰.

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