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電漿機原理
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http://thuir.thu.edu.tw/retrieve/23044/101THU00442017-001.pdf
以電漿改質奈米碳管製作之奈米碳紙其拉曼光譜及電性之探討
在經過電漿處理之奈米碳管,由於其電漿離子轟擊達到蝕刻效果與. 打斷C-C 鍵結,從拉曼光譜上判斷, ... 像原理是利用一束具有5~30 kV 之電子束掃描試片的表面,接收表.
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