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TW201308392A - 電漿處理裝置及電漿處理方法

電漿 處理裝置，係具備：處理室，配置於真空容器內，於內部形成電漿；載置台， ... 依據此而調節晶圓偏壓電源之輸出時，因為離子能量分佈之監控構造其原理複雜，亦需要 ...

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