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電漿表面改質層應用於精密模具結構機制之特性研究

2-1-5 電子迴旋共振微波電漿源(ECR microwave plasma source)13 ... 其原理是將工件浸泡於電漿中，並對工件表面施加負壓，而機台腔體則接. 地，電漿中 ...

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