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電漿製程技術

電漿 粒子和其他氣體分子一樣都是連續運動的，包括其間的碰撞有彈性及非彈性的兩. 種碰撞。 ... 如前所言，電漿的不同成分都可以用它們的特徵溫度來表示。

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