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電漿應用
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可移轉技術
可應用範圍, 超高頻電漿矽基異質接面薄膜製造技術主要關鍵設備為超高頻電漿輔助化學氣相沈積設備(VHF PECVD),主要市場可應用在太陽能產業(矽薄膜、HIT、單多晶); ...
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