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低溫大氣電漿

本研究將著重於電漿在鍍膜製程上的應用，建立一套整合一維與二維之數值模型，對電漿鍍膜製程作一系列的探討。模擬的重點在於探討以超高頻率(Very High Frequency) 電漿 ...

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