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中心介紹 - 電漿科技研究中心- 逢甲大學

隨著科技產業逐步發展，電漿也被廣泛的應用於各種製程，例如薄膜製程所使用的高功率脈衝磁控濺鍍 (High power impulse magnetron sputtering, HIPIMS) 、電弧離子鍍 (Arc ...

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