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電漿源原理與應用之介紹

電感偶合式電漿(Inductively-Coupled Plasma,. ICP) 為一結構簡單而應用廣泛之電漿源。ICP 之電漿. 產生與維持，為利用電磁感應產生之電場，加熱電漿. 電子，以應游離反應 ...

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