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電漿蝕刻法在玻璃表面製作微結構之研究

圖2.19 電漿噴鍍(Plasma Spray)示意圖[28]. Page 40. 27. 低溫電漿雖較高溫電漿容易產生，但其中除電子離子外尚具中. 性激態之原分子，其激發、還原、游離 ...

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