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TWI620228B - 電漿處理裝置與電漿處理方法 - Google Patents

若是搭配平面電漿產生電極104上的偏壓，可控制產生平面電漿的電場在如2KV/cm~30KV/cm，以改變平面電漿密度的分佈型態。 圖5是圖4中的試片處理之一例的剖面示意圖。 ... 圖6是 ...

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