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感應耦合電漿化學氣相沉積設備 - 矽碁科技股份有限公司

ICP-CVD 感應耦合電漿化學氣相沉積（ICP-CVD）是一種使用ICP的化學氣相沉積 ... 板之間的氣體解離，進而產生電漿，此電漿態的氣體有助於化學反應，並沉積於基板上。

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