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論文摘要本研究於自製電漿輔助化學氣象沉積系統利用光放射光譜端點檢測以進行異質接面太陽能電池用氫化非晶矽鈍化薄膜之適用製程研究。透過電漿診斷及硬體回饋以即時 ...

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