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電漿製程技術

宇宙間大多數物質處於電漿態，亦即熱平衡狀態，然而在低壓放電製程中，輕重不同. 的帶電粒子則完全處於非熱平衡狀態。 ▫ ∵ 這些放電體彼此電性驅動著，同時也是弱 ...

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