... 電漿到大氣電漿；低溫電漿到高溫電漿。 ... 電感偶合式電漿在低輸入功率. (低電漿密度)時，射頻功率之偶合是以線圈與電漿間. 高電位差造成的電容式效應為主，當所形成的電漿 ...
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