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Chap9 蝕刻(Etching)

反應性離子蝕刻法（Reactive Ion Etch，RIE），介於濺擊. 蝕刻與電漿蝕刻間的乾式蝕刻技術。 ... 部份與空氣中的氧氣反應而形成. 氧化物於介層窗的底部。 ➢部分金屬鋁的表面 ...

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