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(12)發明說明書公告本(11)證書號數

接著可在晶圓至晶圓間用更多可重現的蝕刻速率來蝕刻暴露矽的區域。可. 用遠端激發的含氟前驅物形成之電漿流出物來執行矽蝕刻。 Methods of conditioning ...

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