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電漿蝕刻原理 - sagrista.es

反應形成揮發性副產物，其通過真高品質電漿蝕刻之基本要求離子密度要夠高離子密度蝕刻反應的化學濃度→影響反應速率﹑蝕刻速率及產能工作壓力要夠低 ...

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