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何謂電漿濺鍍法?

Q:何謂電漿濺鍍法(Plasma Sputtering Deposition)?. A: 電漿濺鍍法係在低真空度中(一般為在真空中充氬氣-Ar)及高電壓下產生輝光放電形成電漿，攜帶能量 ...

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