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7 Plasma Basic

• ECR是屬於微波電漿設備的一種，以. 2.45GHz的微波激發氣體分子使之解離而. 形成電漿，但另外加一磁場於腔體，由. 軸向磁場產生一與之垂直的電場，電子. 因而繞磁場做圓周 ...

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