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加值中心展示室

PECVD的能量來源電漿電位通常採用射頻電源(Radio frequency, RF)，下圖所示為輸入之射頻交流電位將形成電漿電位與直流偏壓驅使鞘層偏壓的出現。本設備於視為射頻電源功率 ...

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