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電漿製程技術

▫ 復合或化合物形成︰來自電漿中的原子或基根與已吸附在固面上的species結合成化合. 物分子：. S—A + A → S + A. 2. S—R + R → S + M. ▫ 在復合過程中，參與反應粒子的 ...

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