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電漿量測之蘭摩爾探針原理- plasma 原理 - 85E2

等离子清洗机基本工作原理是在真空的状态下，设备腔体内的电极形成很高频率的交变电场，腔体内的氧气或氩气在交变电场的作用下形成 ... 生成的三大要素子，3电场.

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