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13. 智慧型監控之微波電漿束燒結系統

場分析軟體模擬計算，期能提高控制結果之精確度與製. 程之再現性，使 ... 真空腔體之氣氛比、壓力之調整值會影響電漿組. 成、密度與分佈，進行影響結構品質，所以電漿監控成.

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