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第四章個案分析與結果-以蝕刻技術為例

因氣體壓力較低，電漿密度也隨著降低，因而蝕刻效率較差。所以較不適合用於. 小於0.5μm 以下的蝕刻。 四、 蝕刻技術研發的趨勢. 當元件越做越 ...

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