模組於PVD 濺鍍時同步開啟,藉由熱電子之產. Page 3. 生,提昇電漿內離子密度並進而增加類鑽碳鍍膜之速率。 2.2 電漿輔助濺鍍類鑽碳膜製作. 本研究使用批次式非平衡磁控濺 ...
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