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電子材料連水養(S. Y. Lien) 電漿的基礎原理、製程與應用

高密度電漿化學氣相沉積. 間隙填充. ▫ 同時沉積和濺鍍. ▫ 間隙的開口逐漸變細 ... 計算薄膜的厚度. ▫ 光感測器在偵測光譜的強度與波長時要. 比人類的眼睛更為敏感.

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