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高密度電漿化學氣相沉積系統

儀器名稱. 中文名稱：高密度電漿化學氣相沉積系統; 英文名稱：High Density Plasma Chemical Vapor Deposition. 儀器設備說明. 廠牌及型號：聚昌，Ciede-200.

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