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濺鍍原理

主要濺鍍原理是利用電漿的正離子轟擊金屬靶材表面，金屬靶材表面的原子將被射入的正離子所撞擊出來，向外濺射，朝材料方向運動，進行金屬薄膜 ... PPT 檔案網頁檢視.

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