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ecr cvd 原理

相沉積法(ECR-CVD) 微波電漿觸媒輔助電子迴旋共振化學氣相沉積法(ECR-CVD) 利用CH4 ... 等離子刻蝕; 鍍膜技術CVD.ppt; Growth microcrystalline silicon films by ECR.

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