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濺鍍原理濺鍍:在真空下,上下兩端極板通電(基板陽極、靶材陰極) 使Ar氣體原子的 ... 下-電極板(濺鍍槍) 電漿之間施以電壓,當電漿氣體濃度於一靶材適當區間,電漿內的 ...
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