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濺鍍原理ppt | 工商筆記本

2014年10月17日- 電漿濺鍍(Plasma Sputtering)是物理氣相沉積(PVD)中的一項重要技術， ... 電漿濺鍍(Plasma Sputtering)主要的原理，是在一個真空腔體內通入氬氣. 詳情».

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