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第五章電漿基礎原理

電漿 基礎原理. 2. 電漿的成分. • 電漿是由中性原子或分子、電子(-）和正電離. 子所構成. 1. 游離率主要決定於電漿中的電子能量. 2. 在大部分的電漿製程反應室中，游離 ...

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