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電漿蝕刻www.tool-tool.com

電漿 方式進行蝕刻又稱乾式蝕刻法，其反應較慢，但沒有殘液污染的問題， ... 中雖然並不具有反應性，但就電漿產生的原理其會決定產生活性粒子的分佈。

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