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第二章基本原理

原先被氬氣離子所激發出的二次電子，初期仍被侷限於靶材前. 端，但稍後部份二次電子會沿著磁力線向基材延伸，於是擴大了電漿. 的範圍。過程中，電子不斷地與其他粒子碰撞而 ...

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