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三维集成电路中硅通孔电阻参数计算解析式提取的研究

封装技术将多芯片集成[1]，实现器件小型化、高密度、多功能化，推动着半导体工业 ... 得出电场强度之后，就可以根据电流密度来计算硅通孔中电阻参数。

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